在過去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發展成為納米定位技術的領先制造商。創業行為的關鍵要素和動機始終保持不變：為客戶找到最佳解決方案。PI（Physik Instrumente）位移平臺以其產品質量而聞名，多年來一直是全球精密定位技術市場的領導者之一。最重要的組成部分之一是國際PI家族內部的團隊精神，其基礎是超越國際邊界和功能限制的相互理解和支持。
PI是一家擁有健康增長的私營公司，在全球擁有1000多名員工，并且是一個靈活的垂直整合的組織，這使PI（Physik Instrumente）位移平臺能夠滿足創新型精密定位技術領域的幾乎所有要求。
PI的首要任務是成為客戶的可靠且高質量的合作伙伴。PI是運動和定位領域解決方案的全球領先供應商。
應用領域
六腳架支持工業機器人科學儀器
半導體技術
顯微鏡檢查
硅光子學
醫療技術
材料研究
機械工業
自動化
梁線儀器
添加劑制造
主動對準
部分產品分類及介紹
納米定位壓電撓性位移臺
PI的壓電撓性位移臺將亞納米分辨率和導向精度與最小的串擾相結合。這使得它們特別適合于計量學，超分辨率顯微鏡，干涉測量或半導體芯片生產檢查系統中的應用。壓電撓性位移臺可用于毫秒級的精確定位和動態掃描，在高達6的自由度下可達到幾百赫茲。
專有傳感器設計，無摩擦撓性導軌和長壽命PICMA®壓電執行器的獨特結合，使機器具有出色且堅固的機械性能。壓電運動控制器支持定位和掃描性能優化，并且可以輕松地通過數字或模擬接口進行集成，并進行舒適的編程。
1.多軸壓電撓性位移臺
PI的多軸壓電撓性位移臺可在多達6個軸上以亞納米級的精度進行定位和掃描，包括尖端，傾斜和偏航運動。版本范圍從最緊湊的立方體設計到大孔徑和薄型。
XYZ掃描儀是定位技術的全方位工具。應用包括樣品調整，技術，光學計量，光纖定位和光子學以及原子力顯微鏡。
所有壓電納米定位系統均已出廠校準，并隨測量記錄一起提供。
P-616NanoCube®納米定位器
緊湊的并聯運動壓電系統，用于納米定位和光纖對準
應用領域：
光纖定位和對準
掃描顯微鏡
2-光子聚合
納米技術與納米制造
光子學/集成光學
顯微操作
樣品定位
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩定性以及kHz范圍內的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機械和控制器可以根據需要進行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數字控制器的自動校準功能都會使用此數據。
適用于復雜的真空應用
壓電系統中使用的所有組件都非常適合在真空中使用。無需潤滑劑或油脂即可運行。不含聚合物的壓電系統可實現極低的脫氣率。
PICMA®壓電執行器，使用壽命長
專利的PICMA®壓電執行器是全陶瓷絕緣的。這樣可以保護它們免受潮濕和由于泄漏電流增加而引起的故障的影響。PICMA®執行器的使用壽命是傳統聚合物絕緣執行器的十倍之多。已證明沒有任何故障的1000億次循環。
零游隙撓性導軌，導向精度高
撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內工作。
通過并聯運動學實現高動態多軸運行
在并聯運動多軸系統中，所有執行器都作用在一個公共平臺上。最小的質量慣性和所有軸的相同設計允許快速，動態且仍然精確的運動。
P-363 PicoCube XY（Z）壓電掃描儀
用于掃描探針顯微鏡的動態納米定位儀
應用領域：
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
掃描和篩選
零游隙撓性導軌，導向精度高
撓性導板無維護，無摩擦和無磨損，并且不需要潤滑。它們的剛度允許高負載能力，并且對沖擊和振動不敏感。它們是100％真空兼容的，并且可在較寬的溫度范圍內工作。
平行位置測量，在納米范圍內具有很高的跟蹤精度
所有的自由度均以單個固定參考為基準進行測量。軸之間不需要的串擾可以實時（根據帶寬）得到主動補償（主動引導）。即使在動態操作中，也可以在納米范圍內實現高跟蹤精度。
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩定性以及kHz范圍內的帶寬。
自動配置和快速的組件更換
機械和控制器可以根據需要進行組合，并可以快速更換。所有伺服和線性化參數都存儲在機械師D-sub連接器的ID芯片中。每次打開控制器時，數字控制器的自動校準功能都會使用此數據。
2.用于顯微鏡的PIFOC®物鏡和PInano®樣品掃描儀
PIFOC®和PInano®系列的壓電撓性位移臺和物鏡掃描儀在定位和掃描任務方面具有很高的動態性。標準產品提供了適用于XY樣品平行于和垂直于光軸定位以及物鏡Z聚焦的解決方案。
平臺也可以在系統中方便地與控制器，所有必需的連接電纜和軟件一起使用。像所有壓電系統一樣，顯微鏡載物臺和掃描儀也已通過測量記錄進行了預校準。
V-308物鏡音圈PIFOC聚焦驅動器
用于顯微鏡物鏡的高動態定位器
使用PIFOC對目標進行Z定位
在許多檢查或顯微鏡技術中，都需要將樣品沿Z方向（即沿物鏡的光軸）定位。可替代地，可以在Z方向上移動物鏡本身。為此，PI提供了名為PIFOC的解決方案。
PIMag®音圈電機
音圈馬達是直接驅動器。在直接驅動中，驅動元件的力直接傳遞到要移動的負載上，而無需使用機械傳??遞元件，例如聯軸器，驅動螺桿或齒輪箱。音圈驅動器由位于磁場氣隙中的永磁體和繞組體組成。當電流流經繞組時，它會在永磁體的磁場中移動。音圈驅動器由于其重量輕且無摩擦的驅動原理，特別適合要求在有限行程范圍內實現高動力和高速度的應用。這些驅動器還可以實現高掃描頻率和精確定位，因為它們不受磁滯的影響。
直接位置測量
直接在運動平臺上以最高的精度執行位置測量，因此非線性，機械游隙或彈性變形對位置測量沒有影響。
集成重力補償
該產品配備了磁力稱重補償。即使沒有通電，也可以保持垂直于運動軸的最大1 kg負載的位置。重力補償可由用戶調整。
交叉滾子導軌
對于交叉的滾柱導軌，滾珠導軌中滾珠的點接觸被硬化滾柱的線接觸所代替。因此，它們更堅固，需要的預緊力更小，從而減少了摩擦并實現了順暢的運行。交叉滾子導向裝置還具有較高的導向精度和承載能力。力引導的滾動體保持架可防止保持架蠕變。
應用領域
顯微鏡：多光子熒光顯微鏡，深層組織檢查，數字玻片掃描顯微鏡。生物技術：采用Solexa-Illumina方法進行基因組測序，免疫分析熒光。
醫療設備：掃描激光眼科，自動細胞計數器/流式細胞儀。生物醫學研究：光學和磁性鑷子。激光材料加工：激光微加工，激光燒蝕。半導體行業：半導體/晶圓檢查。
PD72Z2x•PD72Z4x PIFOC物鏡掃描系統400 µm
高動態壓電驅動器，可實現亞納米分辨率
應用領域
顯微鏡檢查
共聚焦顯微鏡
3D成像
篩選
自動對焦系統
表面分析
晶圓檢查
多光子顯微鏡
直接位置測量帶來最高的精度
直接在運動平臺上測量運動，而不受驅動或導向元件的任何影響。這樣可以實現最佳的可重復性，出色的穩定性以及快速響應的剛性控制。
電容式傳感器的亞納米分辨率
電容式傳感器可在不接觸的情況下以亞納米分辨率進行測量。它們保證了出色的運動線性，長期穩定性以及kHz范圍內的帶寬。
豐富的軟件可快速啟動生產運營
得益于對MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見操作系統（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個環境中快速有效地實現。復雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產運營的時間。
ND72Z2LAQ PIFOC物鏡掃描系統2000 µm
納米分辨率和快速步進和穩定
應用領域
雙光子顯微鏡
共聚焦顯微鏡
3D成像
激光技術
干涉儀
生物技術
顯微操作
自動對焦，適合長途旅行
使用增量線性編碼器進行高精度位置測量
非接觸式光學編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機械間隙或彈性變形對測量沒有影響。
PiezoWalk®行走驅動器可實現納米級精度和高進給力
多個壓電執行器在PiezoWalk®行走驅動器中執行行走運動，從而導致跑步者向前進給。致動器的控制允許最小的步進和正向進給運動，其分辨率遠低于1納米。
豐富的軟件可快速啟動生產運營
得益于對MATLAB和NI LabVIEW以及所有常見操作系統（Windows，Linux和macOS）的支持，集成幾乎可以在每個環境中快速有效地實現。復雜的編程示例和軟件工具（例如PIMikroMove）大大縮短了生產運營的時間。
德國 Physik Instrumente U-523PILine®線性平臺
品牌簡介
在過去的四十年中，PI（Physik Instrumente）已發展成為納米定位技術的領先制造商。創業行為的關鍵要素和動機始終保持不變：為客戶找到最佳解決方案。PI（Physik Instrumente）位移平臺以其產品質量而聞名，多年來一直是全球精密定位技術市場的領導者之一。最重要的組成部分之一是國際PI家族內部的團隊精神，其基礎是超越國際邊界和功能限制的相互理解和支持。
PI是一家擁有健康增長的私營公司，在全球擁有1000多名員工，并且是一個靈活的垂直整合的組織，這使PI（Physik Instrumente）位移平臺能夠滿足創新型精密定位技術領域的幾乎所有要求。
PI的首要任務是成為客戶的可靠且高質量的合作伙伴。PI是運動和定位領域解決方案的全球領先供應商。
應用領域
六腳架支持工業機器人科學儀器
半導體技術
顯微鏡檢查
硅光子學
醫療技術
材料研究
機械工業
自動化
梁線儀器
添加劑制造
主動對準
線性平臺
PI提供了廣泛的電動線性平臺產品組合。種類繁多的應用還意味著線性軸的技術可能性也非常廣泛。行程范圍從幾毫米到幾米，精度等級從納米到微米：PI使驅動器，導向器或傳感器技術適應應用條件。
有許多不同型號的真空版本。多軸組合可借助轉接器支架實現，或者通過匹配的Z平臺和旋轉平臺更加緊湊。
運動控制器可作為臺式設備，機架版本或緊湊型OEM設備使用。所有這些因素的共同因素是通過通用命令集（GCS）進行命令，該命令簡化了控制和編程，并且與驅動器類型無關。
可提供具有ACS運動控制器的多軸工業應用中的多軸系統。這樣可確保通過Fieldbus接口輕松集成，以實現精密和以運動為中心的工業應用。
1.U-523PILine®線性平臺
帶有超聲波壓電馬達的緊湊型線性平臺
精密級線性定位平臺
PILine®位移臺特別適合需要快速精確定位的應用。關閉時，自鎖驅動器會以機械方式穩定工作臺的位置。因此，能量消耗和熱量產生顯著減少。這些特性使電池供電或對熱敏感的低占空比應用受益。軸的位置由編碼器測量，光學參考開關可實現可靠的可重復運動。壓電驅動原理及其電氣操作成本低廉，可以定制。
使用增量線性編碼器進行高精度位置測量
非接觸式光學編碼器可以最高精度直接在平臺上測量位置。非線性，機械間隙或彈性變形對測量沒有影響。
PILine®超聲波壓電馬達
PILine®超聲波壓電電機的組成部分是壓電致動器，該壓電致動器通過一個耦合元件預加載在可移動的導向流道上。壓電陶瓷執行器被100至200 kHz之間的高頻AC電壓激勵而產生超聲振蕩。致動器的變形導致聯接元件相對于轉輪周期性的對角運動。每個周期產生的進料為幾納米。高頻導致高速。將壓電陶瓷執行器預緊抵在轉輪上，可確保驅動器在靜止和關閉時自動鎖定。
應用領域
顯微操作，自動化，生物技術，樣品處理，樣品定位，空間有限的應用，10 -6 hPa的真空應用（可選）。
2.精度最高的N-565線性平臺
具有亞納米編碼器分辨率的NEXACT®壓電步進驅動器
NEXACT®參考級線性平臺
帶有NEXACT®PiezoWalk®驅動器的線性平臺可在長行程范圍內在納米范圍內進行高精度定位。它們配備有直接測量的線性編碼器和交叉滾子軸承，可實現最高的精度。
使用PIOne線性編碼器進行直接位置測量
PI開發了高分辨率的PIOne編碼器，并通過對測量值進行相應的處理，使位置分辨率大大小于1納米。另外，由于信號周期短和信號質量高，PIOne編碼器的線性誤差小于1％。PIOne編碼器在評估參考信號時支持方向感測。
PiezoWalk®技術：高分辨率和低磨損
PiezoWalk®技術結合了壓電執行器和壓電馬達的技術優勢。PiezoWalk®行走驅動器不僅提供亞納米級分辨率，高作用力和高剛度，而且理論上允許無限的行駛范圍。與其他壓電驅動原理相反，PiezoWalk®行走驅動器不受滑動摩擦的影響。它們基于沿著滑道步進的多個壓電執行器的靜摩擦接觸。靜止時，PiezoWalk®行走驅動器是自鎖的，不消耗能量，并且不發熱。
應用領域
樣品處理，樣品定位，具有高精度和穩定性的光學或機械組件，半導體行業的精密機械，顯微操作，顯微鏡，自動化，在狹窄空間中的應用，在非磁性環境中的應用。
3.L-812高負載線性平臺
步進或伺服電機•驅動螺桿•性價比高
強大的線性平臺，用于要求苛刻的工業應用
精密滾珠絲杠，高性能步進或同步伺服電機，重型循環滾珠軸承以及精密旋轉編碼器可在高負載下連續可靠地運行。可選的抱閘允許用作Z軸。滾珠絲杠可以在不拆卸的情況下從外部進行補充潤滑，以確保高可靠性和長壽命。
開拓設計
L-812系列的循環球軸承導軌設計用于高負載能力和動態性能。電機的高分辨率可改善跟蹤性能，減小跟蹤誤差并縮短建立時間。
選項
步進或同步伺服電機
抱閘
旋轉編碼器，增量式或絕對式
折疊式傳動系統可減少總長度
同步伺服電機
這些電動機在較大的轉速范圍內具有較高的定位精度和較高的過載能力。高扭矩和低慣量確保了驅動器的高動態。這些電機的使用壽命長，性能高且堅固耐用，可在工業自動化應用中獲得出色的效果。
步進電機
強大且低振動的2相步進電機即使在沒有位置控制的情況下也可以實現精確定位。
應用領域
電子產品生產：微裝配。傳感器/攝像頭的位置。
激光材料加工：激光微加工。
工業噴墨印刷。矩陣板和印刷電路板的生產。
測試與檢查。
醫療設備制造：氣密焊接。基因實驗室的機器人系統。
空氣軸承和位移臺
空氣軸承臺用于需要無振動運動，速度需要高度恒定且要求最佳角度重復性的場合。
空氣軸承避免了摩擦，磨損和反沖效應。PIglide線性，旋轉和球面軸承是精密組件，可以集成和電動化用于OEM，工業和研究市場。
1.A-142 PIglide音圈線性平臺，帶空氣軸承
高性能•兼容無塵室•垂直安裝選件
產品總覽
高性能緊湊型音圈線性平臺，帶有空氣軸承導軌。免維護，無限壽命，非常適合具有高占空比和嚴格體積限制的高動態應用。
集成的平衡選項可實現垂直方向的操作。
配件和選件
PIglide過濾器和空氣制備套件
垂直安裝的氣動平衡
應用領域
線性位移臺非常適合高精度應用，例如計量學，光子學對準系統，光學器件定位和掃描。非接觸式設計是潔凈室應用的理想選擇。電纜未移動。
2.A-110 PIglide LC線性平臺，帶空氣軸承
廉價的高性能納米定位臺
產品總覽
PIglide定位系統具有磁性直線電機，磁性預加載的空氣軸承和光學線性編碼器：非接觸和無摩擦運動，可提供最高的準確性和可靠性
應用領域
PIglide定位系統非常適合許多高精度應用，例如半導體或平板顯示器制造中的計量，光子學和精密掃描。
由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。
配件和選件
編碼器
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸和多軸運動控制器
XY設置和個別配置
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統
3.A-141 PIglide MB微型線性平臺，帶空氣軸承
高性能，無塵室兼容，可定制
產品總覽
帶有空氣軸承的PIglide MB線性位移臺配有伺服線性電機驅動器，該驅動器帶有預裝的空氣軸承和集成的光學線性編碼器。此階段可提供微型格式的超高精度。非接觸組件的組合形成了一個無摩擦運動平臺，該平臺可提供最高的性能，質量和使用壽命。
應用領域
該載物臺非常適合許多高精度應用，例如計量，光子對準，光學定位和掃描。非接觸式設計也是潔凈室應用的理想選擇。電纜未移動。空氣軸承模塊提供鎖定設計，以實現最高的位置穩定性。
配件和選件
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸和多軸運動控制器
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統
旋轉臺
對旋轉運動的要求顯示出范圍很廣的各種尺寸，負載能力和定位精度。PI提供具有各種電動和導向選項的平臺：空氣軸承，扭矩馬達驅動，蝸輪蝸桿耦合電動，小型壓電馬達平臺以及帶有正交傾斜安裝選項的專用測角儀平臺。它們都可以通過相應的線性，垂直和XY平臺安裝到多軸組合上。
1.A-68x PIglide RLA旋轉平臺，帶空氣軸承，大孔徑
無摩擦，電動
產品總覽
PIglide RLA系列的直接驅動平面旋轉平臺設計為具有最高的精度。它們外形小巧，通光孔徑大。RLA位移臺具有出色的行程精度，平坦度和擺動性能。
絕對值編碼器（可選）
絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。
應用領域
斷層掃描，束線系統，晶圓計量，晶圓檢查，測量技術，檢查系統，校準，掃描。
由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。
三相轉矩電機
無刷
低齒槽轉矩
配件和選件
增量或絕對編碼器
PIglide過濾器和空氣制備套件
單軸或多軸運動控制器和伺服驅動器
多軸/自定義設置
用花崗巖制成的底板和減少振動的系統
2.A-63x PIglide RL帶有空氣軸承的平面旋轉平臺
無摩擦，電動
產品總覽
PIglide RL系列的直接驅動式薄型旋轉位移臺采用薄型設計，可實現最高的精度。可以組合使用各種選項，以創建理想的解決方案，以實現點對點索引或恒速掃描。RL位移臺提供卓越的行程精度，平坦度和擺動性能。
絕對值編碼器（可選）
絕對值編碼器提供明確的位置信息，從而可以立即確定位置。這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作過程中的效率和安全性。
應用領域
光學對準，晶圓檢查，晶圓對準，測量技術，檢查系統，校準，掃描。
由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide平臺成為潔凈室應用的理想選擇。
三相轉矩電機
無刷
無槽
低齒槽轉矩
配件和選件
增量或絕對編碼器
真空饋通
在靜止狀態下通過電磁預載自鎖
根據要求清除光圈
客服熱線：
